光學式檢測儀器
非破壞檢測解決方案
Optical Inspection & Measurement instruments
多功能靜、動態3D顯微量測儀SP-MWI
本產品結合多種顯微光學量測技術，適合應用於半導體、微機電/微結構和生化分析檢測；靜態量測可取得物體表面之2D、3D形貌尺寸，動態量測可量測物體的共振頻率、面內/面外振動模態分析；結合FTIR技術進一步取得全視野內的高光譜資料，透過高光譜資料可對待測物進行顏色、材質、成份等分析。
便攜式應力檢查儀
本產品可檢測待測物內部的全場應力分佈，便攜式的量測結構設計，使應力的檢測不再限於實驗室內，可直接至現場量測。1000mm的超大檢測視野，更可直接對於已組裝的產品進行量測，可以得到更直觀的應力分佈結果。
微型光譜量測儀/高光譜量測儀
本公司提供完整的光譜量測服務和工具。檢測範圍從UV~NIR有各種型式光譜儀可供選擇外，檢測方式更有單點量測、多點量測、面型掃描量測及瞬時高光譜量測。本公司亦可協助用戶開發光譜比對分析軟體和生化分析系統，在光譜量測上提供最完整及全面的服務。
SP-SWI/SP-DWI Optical Static/Dynamic surface Profiler
Fast nano-scale 3D profiling measurement, resonant frequency detecting
Surface analysis：roughness, flatness, thickness, step-height
- Fast static profiling
SP-DWI/SWI provides friendly user interface, non-contact, fast and nano-scale precision 3D profiling measurement. It is suitable for analyzing any material surface with at least 1% reflectivity. The roughness and the step height analysis can be implemented.
- Dynamic measurement
With high frequency stroboscopy (>1MHz), SP-DWI can measure the dynamic characteristics of the MEMS, such as the vibration mode and the surface profile of the periodic vibrating motion.
