用於微觀失效分析的長焦距顯微鏡，可在相距15cm-40cm的距離外，以此顯微鏡觀察微小如1μmm的微量變化，並可配合CCD影像擷取系統進行失效特性分析。

   與傳統的顯微鏡所不同的是，長距離顯微鏡不但能進行一般的靜態觀測，而且能進行動態觀測；一是可以使顯微鏡在待測物上移動著觀測；又可以在樣品處於高溫、高濕、有腐蝕性氣體的環境下透過保護觀測其樣品的微觀變化。如：金屬在高溫下的熱膨脹、裂變、疲勞等的實時觀測。

    又例如在晶體生長過程中，需要監視晶體的生長速度，由於晶體的生長是處於高溫真空條件下，而且一般不允許有其他物體接近其表面，通常只能採用間接的方法來進行生長速度和生長過程監視，而使用長距離顯微鏡可以直接進行觀察。